青山湖微納技術研發平臺儀器設備

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資源中心

儀器設備

開放平臺擁有光刻機等60多臺套關鍵設備，可以完成40納米技術節點的全部后道工藝制程，有效地服務于集成電路的技術研發與成果轉化能力。

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